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對品質(zhì)嚴(yán)格要求的氯化氫氣體

返回  打印  發(fā)布時(shí)間:2017-11-17 點(diǎn)擊:8272
    一般來說,電子級氯化氫是指純度高于99.999%的高純度氯化氫氣體。除了對純度要求較高以外,對氯化氫氣體的品質(zhì)要求也非常嚴(yán)格。 
    隨著微電子工業(yè)向著大尺寸、高集成化、高均勻性和高完整性方向的飛速發(fā)展,對廣泛用于單晶硅氣相拋光和外延機(jī)座腐蝕的電子級氯化氫也有了新的要求。除了應(yīng)具有99.999%以上的純度,還要求氯化氫的THC、H2O和金屬離子等有機(jī)雜質(zhì)的含量越低越好。 
    電子級氯化氫主要用于外延生長前硅和砷化鎵高溫氣相刻蝕,清除鈉離子。另外高純氯化氫也用于金屬表面化學(xué)處理,激光用混合氣、膠片生產(chǎn)及碳纖維表面處理。過去我國大多從美、日等國進(jìn)口電子級氯化氫,但近年來,我國電子工業(yè)所需的化學(xué)氣體的研制,在技術(shù)上已有不少突破和發(fā)展。 
    我公司作為地區(qū)專業(yè)的高純氯化氫氣體產(chǎn)品研發(fā)供應(yīng)機(jī)構(gòu),公司代理的各種不同類型的氯化氫氣體、高純氯氣產(chǎn)品不僅質(zhì)量上乘,而且產(chǎn)品純度高,各種不同純度類型的產(chǎn)品都有,在實(shí)際的工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用,深受廣大需求廠家的好評,值得信賴,歡迎前來選購。

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